海天彩票

信息快递
信息快递
致茂集团旗下兆晟SuperSizer 揪出奈米杀手粒子
2019/03/21

过去几十年,半导体技术快速发展,现在7奈米制程技术已是高阶生产的主流,5奈米技术也预计将于今年中实现,两年后更可能进步到3奈米。半导体越做越小,制程也越来越复杂,产业亦面临很多以前不存在的严峻挑战严重影响良率;如在制程中,硅晶圆会经过多种高纯度、高洁净度的化学药水处理,药水内的奈米粒子不纯物,原本不影响制程良率,现在因为元件的持续缩小,这些奈米粒子已经变成会造成良率损耗的”杀手粒子”,而业界还没有良好的改善对策。

关于这个议题,我们可以想象业界如同患有深度近视的驾驶,未戴眼镜驰骋于马路上的危险场景,无法完全避免意外的良率损失发生。目前业界主要的粒子监控技术是利用雷射光直接照射制程溶液,透过光束于粒子散射讯号进行粒子大小与数量的量测。这样的量测方式,虽然原理及机构较为简单,但是实际上在奈米粒子范围,已面临无法突破的物理极限。现有量测技术在数量量测上更会到液体流动时所产生的奈米气泡干扰,容易造成计数的不准确。在粒子大小的量测,设备虽号称可量到20奈米,实际上因光学讯号已经过低只勉强可量到40奈米,完全不敷先进制程所需。

在这样的背景下,量测仪器大厂与在奈米粒子监控有突破性进展的工业技术研究院量测发展中心共同成立了兆晟奈米科技,并于2018年进驻新竹科学园区。兆晟提供半导体厂一副“如鹰眼般的眼镜”可以清楚地看到以前无法看到的制程液态环境中的奈米杀手粒子,让大家可以在晶圆还没受到杀手粒子伤害前预先采取适当的防治措施避免良率损耗。能有这样的“鹰眼”半导体厂在先进制程的良率改善将如虎添翼。经过多年的研发,兆晟团队突破了量测的限制,开发出创新的 SuperSizer奈米粒子量测技术,完全不受奈米气泡的干扰并大幅改善了小粒子的侦测效率,可以精准地量测3奈米以上的粒子大小及数量分布。在初步与国际半导体大厂合作,得到良好的成效。

承接工业技术研究院量测发展中心在奈米粒子监控的突破性技术和团队以及30多年来专注于量测仪器的研发、制造与在半导体产业的应用经验,兆晟奈米科技将持续提供新一代精准、可靠的SuperSizer“化学溶液中奈米粒子监测系统”协助半导体制造厂及其供应链改善先进制程的制程良率。尔后,计画将此精准的奈米粒子监控技术推广到光电、食品及制药业等应用领域。

更多资讯请见兆晟官网:http://www.i-nanotech.com


▲兆晟SuperSizer 奈米粒子监测系统